申请人所在实验室主要从事宽禁带半导体材料与器件研究，目前承担了氮化镓基微波功率器件性能测试及热管理能力的提升的研究任务，需要通过大尺寸多晶金刚石衬底的制备实验来检验。因此，为了实现尺寸≥6英寸的高质量、低翘曲的多晶金刚石衬底的制备，就需要用到化学气相沉积系统谐振腔的基片托及高频电极耦合模块征尺寸不低于150 mm，才能容纳大尺寸晶圆和维持用于大尺寸金刚石生长的活性反应气体。经过调研，目前国内只有优普来设备（湛江）有限公司的MPCVD高真空谐振腔能够满足上述研究特征尺寸和反应气体均匀性需求。因此，特申请以单一来源的方式进行采购。

单一来源公示2025年8月27日到2025年9月3日。