申请人所在实验室主要从事氮化物宽禁带半导体材料与器件研究，目前承担了大尺寸、高均匀性、快速碳基半导体材料外延生长课题任务，以推动新型宽禁带半导体制备与应用及与传统氮化物的集成。实验室需要微波功率源产生高能量微波，激发气体形成等离子体，从而实现等离子体中的原子在衬底表面的沉积。常用的碳源气体为甲烷和氢气的混合气体，为实现大尺寸、均匀、快速的碳原子沉积，须微波功率源能够提供较低频率(<1GHz)、较高功率(>50kW)的微波，才能实现大体积、高密度的碳源气体等离子体，确保碳原子的快速沉积、薄膜的均匀生长和质量控制。经过调研，目前国内只有广东优普莱金刚石技术有限公司的微波功率源能够同时提供频率915MHz、稳定功率54kW的输出以维持高密度等离子体实现快速材料生长，满足上述项目研究需求。因此，特申请以单一来源的方式进行采购。

单一来源公示2025年8月27日到2025年9月3日。