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集成学院购置的“薄膜应力分析仪”到货

发布时间：2022-09-01

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　　我校集成电路学院购置的美国Frontier Semiconductor公司的“薄膜应力分析仪”于2022年7月20日到货。该设备由国家发改委国家集成电路产教融合创新平台项目经费支持，将用于通过CCD收集反射光信号完成薄膜应力测量的研究需求。拟安装在微纳电子大厦一层101超净工艺实验室，责任教授为崔健副研究员。

　　相关信息：

　　国家集成电路产教融合创新平台项目统一进行项目论证

　　2021年11月校招标领导小组批准采购

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