新闻中心

我校信息学院等离子体增强型化学气相沉积设备、电子束蒸发仪招标采购项目(2014[050]）评标会于2014年12月26日上午在实验室与设备管理部会议室召开，会议由张新祥部长主持。本项目分为A包、B包和C包，其中A包有3家投标商，B包有4家投标商，C包有3家投标商。专家组对各包投标商所投方案的价格、技术指标、商务应答等进行了认真的审核和讨论。最终经专家组评分，确认Sentech instruments GMBH所投A包SentechSI 500型感应耦合式等离子体增强型化学气相沉积系统，牛津仪器等离子技术公司所投B包牛津PlasmaPro NGP80型等离子增强化学气相沉积系统，北京德仪天力科技发展有限公司所投C包德仪DE 400型电子束蒸发镀膜仪中标。

该项目分别由国家973项目和“985工程”经费支持，拟购的感应耦合式等离子体增强型化学气相沉积系统是实现锗、III-V族化合物半导体等高迁移率沟道CMOS器件集成的必要设备，等离子增强化学气相沉积系统是实现碳基集成电路钝化的必要设备，电子束蒸发镀膜仪是对材料表面进行镀膜的必要设备，上述设备将对北京大学在高迁移率集成电路器件领域和碳基电子学领域的研究产生积极的推动作用。

相关链接：20141016信息学院“等离子体增强化学气相沉积系统”通过可行性论证

20140701信息学院四台仪器通过可行性论证