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发布时间：2015-01-06

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我校信息科学技术学院购置的美国ULTRATECH公司生产的“原子层沉积系统”于2014年12月27日到货。该设备由“985”项目三期经费支持，拟用于开展碳基集成电路的研究，是生长高质量薄膜材料的必要设备。拟安装在理科2号楼微纳加工实验室，责任教授为彭练矛教授。

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