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信息学院购置的 “多靶磁控溅射仪”到货
发布时间：2015-01-16
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我校信息科学技术学院购置的加拿大ANGSTROM ENGINEERING 公司生产的“多靶磁控溅射仪”于2015年1月13日到货。该设备由“重大专项”经费支持，将用于开展新型忆阻器材料与器件的研究，是制备忆阻器材料、电极材料的关键设备。拟安装在微纳电子大厦一楼微电子工艺实验室，责任教授为刘力锋副教授。
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