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信息学院购置的 “电子束蒸发镀膜系统”到货

发布时间:2015-04-30
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我校信息科学技术学院购置的美国DE公司生产的“电子束蒸发镀膜系统”2015429日到货。该设备由“985”项目三期经费支持,将用于开展碳基电子器件的研究,是对材料表面进行镀膜的必要设备。拟安装在理科二号楼微纳加工实验室,责任教授为彭练矛教授。


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