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信息学院购置的“电子束光刻机”到货
发布时间：2014-07-15
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我校信息科学技术学院微电子学研究所购置的英国 NANOBEAM Ltd. 公司生产的第二套 “电子束光刻机”于 2014 年 7 月 11 日到货。该设备由“ 985 ”三期经费 支持，将 主要用于纳米集成电路技术、纳机电系统技术和纳结构相关技术的研究 。拟安装在微纳电子大厦 101 室，责任教授为张大成教授。
相关信息：
2008 年 3 月 7 日信息科学技术学院“电子束光刻机”通过可行性论证
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