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我校信息学院“多靶磁控溅射仪”招标采购项目（2014[003]）评标会于2014年4月24日上午在实验室与设备管理部召开，会议由黄凯副部长主持。本项目共有4家公司参与投标，专家组对各投标方案的价格、技术指标、商务应答等进行了认真的审核和讨论。经过综合评分，最终确定昊臣机电(上海）有限公司中标，该公司所投设备为Angstrom Engineering NEXDEP型多靶磁控溅射仪。

该项目由重大专项课题经费支持。设备将主要用于“新原理器件与集成技术研究”中制备Al掺杂HfO₂、ZrO₂和TiO₂等多种氧化物薄膜材料和Al、W、Pt等金属材料，同时该设备也将用于本科生微电子器件实验教学。