物理学院购置的 “高真空双腔自动化电子束蒸镀系统”到货
发布时间:2013-10-09
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我校物理学院量子材料科学中心购置的台湾鸿祥发展有限公司生产的“高真空双腔自动化电子束蒸镀系统”于2013年10月9日到货。该设备由“985”项目三期经费支持,将主要用于基于纳米器件的加工及材料的测量工作,是生长高质量薄膜的关键设备。拟安装在物理学院东楼201室,责任教授为危健研究员。
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