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物理学院购置的“紫外光刻机”到货

发布时间：2012-12-26

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我校物理学院国际量子材料中心购置的美国NEUTRONIX QUINTEL公司生产的“紫外光刻机”于2012年12月18日到货。该设备由985项目三期经费支持，将主要用于微纳米材料加工工艺中高精度的光刻与套刻，是开展微纳米材料表征及器件等研究的必备设备。拟安装在在物理学院东楼201-203室，责任教授为危健研究员。

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