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2012年12月26日，信息学院拟购的“高压探针台”购置论证会在微纳电子大厦205会议室召开，会议由信息学院微电子学系副主任刘晓彦教授主持，设备部设备管理办公室相关工作人员参加了会议。

探针台是一类利用金属微探针接触器件特定测试点并通过配套的半导体参数测试仪施加所需的电压或电流以达到测试分析器件相应电特性的仪器，广泛应用于半导体器件和工艺相关研究。拟购的“高压探针台”能够对上千伏的高压器件进行电学特性和可靠性测试，同时达到fA级别低漏电，并能提供主动式安全防护。校内同类设备不能满足申请人的研究需求。专家组根据申请人开展新型半导体器件物理与结构、半导体器件模型及可靠性研究的需要，认为该仪器是测试高压器件电学特性的关键设备之一，且设备购置经费已落实，运行经费有保障，一致同意通过“高压探针台”的可行性论证。设备购置后将在满足申请人课题组科研需要的同时对校内外开放使用。

“高压探针台”由信息学院杜刚教授申请，经费来源为国家重大专项经费。可行性论证专家组由中科院微电子所霍宗亮研究员，清华大学微电子所张进宇副教授，北京大学信息学院刘晓彦教授、王漪教授、何燕冬副研究员组成。