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信息学院购置的 “脉冲激光沉积设备”到货
发布时间：2013-01-15
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我校信息科学技术学院购置的美国NBM Design inc. 公司生产的“脉冲激光沉积设备”于2013年1月14日到货。该设备由国家重大科技专项经费支持，将用于各种氧化物薄膜及金属、金属氧化物多层薄膜的制备。拟安装在微电子大楼超净间，责任教授为张兴教授。
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