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发布时间：2021-12-21

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　　我校信息科学技术学院购置的德国海德堡仪器公司的“激光直写仪”于2021年12月15日到货。该设备由国家发改委国家集成电路产教融合创新平台项目经费支持，将用于半导体微电子器件加工过程中微纳结构尺度图形化的研究需求。拟安装在微纳电子大厦一层101超净工艺实验室，责任教授为刘鹏工程师。

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