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物理学院购置的 “金属/氧化物介质多功能超薄膜制备系统”到货
发布时间：2012-08-28
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我校物理学院购置的美国KURT J. LESKER公司生产的“金属/氧化物介质多功能超薄膜制备系统”于2012年8月28日到货。该设备由国家重点实验室仪器更新改造费支持，将主要用于有机薄膜LED，有机光伏薄膜器件，薄膜晶体管制备过程中的高质量、厚度精确控制的金属及氧化物介质薄膜的溅射。拟安装在物理学院金工楼205室，责任教授为肖立新教授。
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物理学院“金属/氧化物介质多功能超薄膜制备系统”通过可行性论证
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