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2011年11月3日，物理学院拟购的“聚焦离子/电子双束系统”及“多功能超高分辨电子束刻蚀系统”购置论证会在校长办公楼202会议室召开，会议由北京大学副校长王恩哥院士主持。

“聚焦离子/电子双束系统”由物理学院危健研究员申请，经费来源为985三期。拟购的聚焦离子/电子双束系统用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工，结合扫描电子显微镜实时观察，是当前制造纳米器件、进行微纳米加工的有效途径。聚焦离子/电子双束系统充分发挥了聚焦离子束和电子束的长处，可以在高分辨率SEM监控下发挥FIB的微细加工能力，充分利用了离子束和电子束的优点，有效的避免了两者的缺陷。目前校内物理学院有两台同类设备，但机时较满。专家组根据申请人在开展微纳器件加工方面的需要，认为该设备是介观体系各种散射过程及其量子特性研究的关键设备之一。

“多功能超高分辨电子束刻蚀系统”由物理学院李焱教授申请，经费来源为人工微结构和介观物理重点实验室更新改造费。拟购置的多功能超高分辨电子束刻蚀系统适合多种材料、多种元器件的高精度纳米制备，是介观光学、低维纳米结构与物理以及宽禁带半导体研究的有力工具，主要用于表面等离激元光学，纳米光电器件（如光开关，光探测器、光伏器件、激光器等），介观量子器件（如量子点器件、自旋阀、原子点接触电阻开关等）和低维物理（如量子Hall效应、量子干涉效应、量子限制效应等）的研究，目前校内尚无同类设备。专家组根据申请人在开展基于绝缘电介质、贵金属和宽禁带半导体等介观物理研究方面的需要，认为该设备是高精度纳米器件制备的关键仪器之一。

上述两套设备购置经费已落实，运行经费有保障，专家组一致同意通过可行性论证。设备购置后将在满足申请人课题组科研需要的同时对校内外开放使用。可行性论证专家组由中科院物理所李建奇研究员，清华大学章晓中教授，北京大学物理学院俞大鹏教授、徐军高级工程师，信息学院彭练矛教授组成。