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信息学院购置的 “原子层沉积设备”到货
发布时间：2012-11-02
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我校信息科学技术学院购置的芬兰PICOSUN OY公司生产的“原子层沉积设备”于2012年11月02日到货。该设备由重大专项经费支持，将主要用于新型微电子器件用材料的制备及筛选。拟安装在微电子大楼1003室，责任教授为康晋峰教授。
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