物理学院购置的 “双腔高真空热蒸发镀膜系统”到货
发布时间:2012-11-20
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我校物理学院国际量子材料中心购置的台湾鸿祥发展有限公司生产的“双腔高真空热蒸发镀膜系统”于2012年11月16日到货。该设备由985项目三期经费支持,将主要用于蒸发金属、导电材料和非导电材料,并在不同的衬底材料上沉积形成薄膜。拟安装在在物理学院东楼微加工实验室,责任教授为危健研究员。
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