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我校信息科学技术学院“电感耦合等离子体刻蚀机”招标采购项目（标号：2012【20】）评标会于2012年5月18日在实验室与设备管理部召开，会议由张新祥部长主持。本次参与投标的厂商共2家。评标专家组认真审核了各投标商的投标方案，并对投标产品的技术指标、技术支持和售后服务进行了详细比对，经过质询、价格谈判后，专家组一致确认：牛津仪器等离子技术公司所投方案中标。

该设备由国家科技重大专项经费支持，将主要用于纳米和微米尺度半导体器件的精细加工；SiO2、Si3N4介质材料的刻蚀；高K介质材料（HfO2、TaOx等）的刻蚀及金属栅材料TiN的刻蚀。