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微纳平台购置的“电子束曝光机”到货

发布时间：2011-09-30

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我校微纳平台购置的德国 RAITH 公司的 150-TWO 型“ 电子束曝光机 ”于 2011 年 9 月 30 日到货。该设备由 211 项目三期经费和用户自筹科研费共同支持， 主要用于微纳加工、纳米结构的特性研究及纳米器件的制备。 拟安装在理科二号楼 微纳加工实验室 ，责任教授为彭练矛教授。

相关信息：

09 年由科研部组织的可行性论证

2011 年 1 月 28 日招标领导小组工作会议审议通过。

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