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我校信息科学技术学院“等离子增强型原子层淀积系统”招标采购项目（标号：2011【09】）评标会于2011年5月23日在实验室与设备管理部召开，会议由张新祥部长主持。本次参与投标的厂商共2家。评标专家组认真审核了各投标商的投标方案，并对投标产品的技术指标、技术支持和售后服务进行了详细比对，经过质询、价格谈判后，专家组一致确认：牛津仪器等离子技术公司所投方案中标。

该设备由国家科技重大专项和985项目经费共同支持，将主要用于新结构小尺寸器件、高迁移率晶体管和新型存储器件的研究。