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发布时间：2022-09-01

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　　我校集成电路学院购置的德国SUSS公司的“自动接触光刻机”和“半自动接触光刻机”两套设备于2022年8月16日到货。该设备由国家发改委国家集成电路产教融合创新平台项目经费支持，将用于微电子器件加工过程中的微纳结构尺度图形化。拟安装在微纳电子大厦一层101超净工艺实验室，责任教授为姜博岩工程师。

　　相关信息：

　　国家集成电路产教融合创新平台项目统一进行项目论证

　　2021年9月23日由东方国际招标有限责任公司进行了公开招标

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