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发布时间：2020-10-20

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　　我校物理学院购置的德国SUSS MICROTEC公司的“紫外曝光系统”和“晶圆键合系统”于2020年10月15日到货。该设备由北京大学教育部纳光电子前沿科学中心首期基础设施项目经费支持，将用于纳光电子芯片的微纳加工。拟安装在物理学院北楼275室，责任教授为王剑威研究员。

　　相关信息：

　　北京大学教育部纳光电子前沿科学中心首期基础设施项目统一进行项目论证　

　　2020年3月11日由东方国际招标有限责任公司进行了公开招标

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