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发布时间：2020-12-29

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　　我校信息科学技术学院购置的日本基恩士公司的“共聚焦轮廓仪”于2020年12月29日到货。该设备由国家发改委国家集成电路产教融合创新平台项目经费支持，将用于微电子器件、新型器件表征的研究。拟安装在微纳电子大厦一层101超净工艺实验室，责任教授为刘鹏工程师。

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国家集成电路产教融合创新平台项目统一进行项目论证

2020年10月23日由东方国际招标有限责任公司进行了公开招标

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