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发布时间：2019-12-31

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我校信息科学技术学院购置的法国ECM公司的“快速热退火炉”于2019年12月27日到货。该设备由科技部重点研发项目经费支持，将用于新工艺、新材料新结构器件的研究。拟安装在微纳电子大厦101微电子所工艺超净实验室，责任教授为黎明研究员。

相关信息：

2019年4月26日信息学院“快速退火炉”通过可行性论证【19-023】

2019年6月校招标领导小组批准采购

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