实验室一览

1. 平台简介

为实现在21世纪把北京大学建设成为世界一流大学的宏伟目标，学校于2003年初提出了筹建一个校级微纳加工实验室的计划。经过多年反复论证，林建华副校长及有关领导2005年批准了该立项方案，并把这个项目列为北京大学2期985重点建设项目，2006年初，学校正式将理科2号楼地下大教室（2056E）及周边天井处批给该建设项目，总面积2000平米。平台于2008年初竣工并投入试运行，依次挂靠信息科学技术学院和电子学院，固定资产超1亿元。平台拥有微纳器件加工和常用测试辅助设备，年均使用课题组五十多个，涉及电子学院、化学学院、物理学院、集成电路学院、工学院和部分校外用户，学生用户数维持在每年500个左右，年均产出高水平论文近百篇，平台高效有序运行支撑了数百个项目的顺利进行。

实验室俯视图	实验室千级

2. 平台建设成果

平台投入运行以来，持续获得修购经费、学科建设经费支持，辅以平台测试费，完成了多轮关键设备的升级与购置，具体有离子束曝光机、电子束镀膜仪、电子束曝光机150、电子束曝光机Voyager、感应耦合等离子增强化学气相沉积系统、扫描电镜、等离子增强原子层沉积设备、高频高精度探针台、磁控溅射设备、等离子增强原子层沉积设备、激光直写设备、两台国产电子束镀膜仪、两台原子力显微镜、国产低温探针台、热蒸发原子层沉积设备、二维材料薄膜转移平台、电子束曝光机Crestec等。这些设备为各院系相关科研工作顺利开展、进一步提高科学研究水平，为北大相关研究人员争取更多更大的国家项目和培养学生科研动手能力创造了条件。通过多年实践摸索和不断改进，实验室已经发展成一个重量级工艺平台，在纳米器件制作尤其是量子器件和碳基器件制作表征方面达到了世界前沿水平。每年有近百篇高水平论文产出并培养一批可以独挡一面的科研工作者。

3. 平台特色

平台积极推进科研资源共享，不仅面向北京大学校内科研团队，而且面向北京市高校、科研院所、企业开放，并取得了丰硕的科研成果。其次，平台对多学科用户开放、样品种类和形式不限，充分体现公共平台的灵活与便捷。长期依托该平台的量子器件和碳基器件研究达到了世界前沿水平，在同行领域中得到了认可和高度评价。论文引用以每年超过200次的增幅逐年增加，文章水平不断上升，多项工作在Nature和Science主刊及子刊上发表。

随着工艺流程不断成熟，平台培养出上千名可以独立操作甚至具有管理设备能力的高水平科研人员，所获奖项有国家自然科学二等奖、茅以升青年科技奖、全国优秀科技工作者称号、北京市有突出贡献的科学、技术、管理人才、优秀博士学位论文指导教师称号、博士研究生国家奖学金、优秀博士学位论文奖等。

实验室在人员管理、设备管理、安全管理、测试费统计、财务流程等方面形成独具特色的一套管理架构，在服务体量、服务质量、运行管理以及测试费收支等方面不断查缺补漏、细化分类并完善，使得实验室运行更具有序性和规范性。

4. 平台人员队伍

实验室主任为北京大学博雅特聘教授，长期从事碳基纳米电子学方面的研究，探索基于碳纳米管的CMOS集成电路、传感器和其他新型信息器件技术，并推进碳基信息器件技术的实用化发展。平台维护队伍有本专业的博士后、博士负责专业方向把控，有负责实验室改造维护十几年经验的厂务工程师，也有来自大厂的设备运营维护工程师以及网络、通信售后工程师加入。整体人员队伍技能知识背景全面，有分工有合作，有效支撑了平台的稳定运行。

5. 平台优质资源

实验室共配备电子束曝光、激光直写、紫外光刻、电子束镀膜、原子层沉积、各类刻蚀、转移、表征以及光、电测量等微纳加工和测量必需公用大型设备30余套，具体性能参数详见网址https://i-sharing.pku.edu.cn/nanofabHome/#/，其中纳米器件加工关键设备电子束曝光机3台，配套3台直接影响器件加工进度的电子束镀膜设备，确保整个器件加工的效率。

Raith Voyager电子束曝光	Microtech 激光直写	维开电子束镀膜仪