实验室一览

1. 平台简介

北京大学微纳工艺校级公共平台（以下简称“平台”）是8寸微电子工艺研发平台，旨在推动关键工艺核心技术攻关，解决国家集成电路先进器件制造技术瓶颈，提升高校学科建设能力，培养产业需要的新型实用人才。平台服务于全校各个科研和教学单位，同时面向社会开放，目前正在建设中。平台位于昌平新燕园校区，实验室面积约4700平方米，其中超净间实验室总面积约为2300平方米，具备局部百级，总体千级的超净环境。将建设成一条8寸CMOS及硅基兼容新材料器件加工工艺线，具有先进的清洗、扩散、镀膜、光刻、刻蚀等微纳加工全流程设备与相关的表征测试设备。

2. 平台建设成果：

依托平台建设，承担协同攻关等重大项目，参与建设与集成电路产业链各环节相关的核心课程13门，面向在校本科生200余人以及研究生700余人授课。

3. 平台特色：

实现亚50nm图形化能力，薄膜种类与刻蚀方法全覆盖，两层及以上金属互连线；覆盖硅基CMOS核心工艺、硅基CMOS后道兼容新材料与新器件，支撑新工科领域科技创新。

4. 平台人员队伍：

平台队伍依托微纳电子器件与集成技术全国重点实验室建设，目前处于建设中，平台负责人为北京大学集成电路学院吴燕庆教授。

5. 平台优质资源：

具有8英寸50千伏电子束曝光机、多腔体原子层沉积、各类薄膜刻蚀机、热处理炉等多台套面向规模制造的加工、表征装备。