获得荣誉及奖项
1.北京大学第十二届实验技术成果奖三等奖 项目完成人:吴洁君、于彤军、沈波 项目名称:面向AlN的高温氢化物气相外延(HT-HVPE)设备研制
核心技术能力
氮化物半导体材料生长制备、单晶生长设备PVT和HVPE研制开发。
可提供的技术支持
跨学科合作研究(如联合申请项目、技术攻关等) ,相关设备研制。